목록2025/04/29 (12)
도전2022
산업대전환 대응을 위한 제조시스템 지능화
품목번호2025-B10057-품목-일반-01산업기술분류중분류Ⅰ중분류Ⅱ개발형태소프트웨어전기전자부품혁신도전형초격차프로젝트(해당)분야첨단제조미션산업대전환 대응을 위한 제조시스템 지능화프로젝트산업 AI 핵심 기술 개발 연계유형특성분류ESGR&D 자율성트랙품목명EUV 마스크 결함 추론 및 분류를 위한 AI 기반 품질검사 기술 개발 및 실증(TRL : [시작] 5단계 〜 [종료] 7단계)1. 개념 및 개발내용□ 개념 ㅇ 전 세계반도체 시장의 EUV를 중심으로 재편 추세에 따른 EUV 마스크를 빠르고 정확하게 검사하기 위한 AI 기반 고성능·고신뢰성 검사 기술 개발 - (제품형태) EUV 마스크용 공정 초미세 결함 검출 시스템 - (기술형태) 제조공정 현장에 최적화된 AI 기반 결함 검출·분류 소프트웨어 - (산업동..
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2025. 4. 29. 21:06
